イオンビーム
読者カード 項目 2016年11月29日 公開
| 用例： | イオン・ビーム ion beam |
|---|---|
| 『図解 原子力用語辞典』 1968年9月30日 原子力用語研究会 | |
| 語釈： | 〔名〕（英 ion beam）原子から取り出したイオンを高速加速して得られる光線状の流れ。固体に当てると内部にイオンがもぐりこむのを利用して、半導体への不純物注入や集積回路の作製、金属の表面加工などに用いられる。（「デジタル大辞泉」より） |
コメント：取り敢えず
編集部：第２版では、立項されませんでした。
著書･作品名：図解 原子力用語辞典
媒体形式：単行本
刊行年（月日）：1968年9月30日
著者･作者：原子力用語研究会
掲載ページなど：８ページ
発行元：日刊工業新聞社